一、产品简介

仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量气体分析仪，通过引进最先进的气体传感技术和信号处理方法, 彻底改变了半导体行业中的超高纯气体分析，专为半导体生产中处于超痕量水平的杂质气体和烃类测量而设计。卓越的NanoChrome采用由仕富梅特别开发的一种创新高灵敏度的等离子体发射探测器(PED)从而能够提供超低检测限度。已通过氩气和氮气的超痕量测量测试，扩展的测量波长使测量H2, CH4, CO 以及CO2以及直链烃的测量无需甲烷转化器。由于无需可燃气体，仕富梅PED传感器增加了安全性，同时降低了运营成本。

二、产品特点

u BETTER THAN THE GETTER 的多组分超微量级气体分析仪

u 适用于 Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC 的 PED 传感器无需维护

u 无需燃料气，从而提高了安全性

u 智能平台，独立软件的单机系统

u 基于互联网的远程操控

u 内置校准系统

u 与仕富梅公司的 Delta F 系列超高纯气体分析仪一道为客户提供全面解决方案

三、产品规格

LDL：检测限低达 300ppt（根据具体情况加以应用）

量程：0-250ppb（用户可以配置）

重量：11-27Kg (25-60lbs)（根据具体情况加以应用）

校准：250ppb 标气或在选装内部稀释系统条件下使用5ppm标气

功率消耗：400W-1200W

运载气体：净化的氦气或氩气

可重复性：检测限读数误差为 ±2%，以较高者为准

样气流量：50-350ml/min（根据具体情况加以应用）

样气压力：30psig（根据具体情况加以应用）

载气流量：通常为 90-500ml/min（根据具体情况加以应用）

载动压力：建议为 100psig

检测器类型：增强型等离子发射检测器

燃料和空气：任何情况下都不需要

流量稳系统：全部流量采用PID系统进行电子控制

尺寸 (WxDxH)：底盘或从机箱，标准机架安装式4U附件482 x 600 x 177mm (19 x 24 x 7")

四、图片展示